基于多层膜技术的硬X射线Laue透镜衍射效率的理论研究

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【摘要】

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采用耦合波理论分析了X射线在多层膜Laue透镜中的传播，选择Cu的Ka线作X射线光源，计算了多层膜Laue透镜的衍射效率．材料为WSi2／Si，最外层宽度为10nm，深度为8500nm的多层膜Laue透镜，倾

【作者】

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黄秋实李浩川朱京涛桑田王占山陈玲燕

【机构】

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同济大学物理系

【出处】

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光子学报

【发表日期】

：

2009年9期

【关键词】

：

X射线光学多层膜耦合波理论效率倾斜波带片 X-ray optics Multilayer Coupled wave theory Efficien

【基金项目】

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国家自然科学基金（10675092）、上海市教育发展基金会晨光计划（2008CG25）和同济大学青年优秀人才培养行动计划资助.

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采用耦合波理论分析了X射线在多层膜Laue透镜中的传播，选择Cu的Ka线作X射线光源，计算了多层膜Laue透镜的衍射效率．材料为WSi2／Si，最外层宽度为10nm，深度为8500nm的多层膜Laue透镜，倾斜情况下外层区域局部光栅的衍射效率可达59％，理论上证明了多层膜Laue透镜是实现X射线聚焦的有效手段．

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