【摘 要】
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近年来,在半导体衬底(如Si, GaAs)上生长磁性薄膜,在基础研究及应用领域引起人们的极大兴趣.然而,由于半导体元素(如As, Ga,Si等)与磁性薄膜层的相互扩散,很难得到高质量的薄
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近年来,在半导体衬底(如Si, GaAs)上生长磁性薄膜,在基础研究及应用领域引起人们的极大兴趣.然而,由于半导体元素(如As, Ga,Si等)与磁性薄膜层的相互扩散,很难得到高质量的薄膜.在Si(100)表面吸附Fe时,有Si扩散到Fe层生成硅化物(如FeSi, Fe3Si, α-FeSi2,3等),这一现象严重影响了薄膜的磁性.
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