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随着绿色能源和半导体的崛起,LED和半导体的使用越来越广泛,导致市场对半导体和LED生产所需的高纯氨气需求增大.通过目前不同的高纯氨生产的工艺进行比较来探讨其优劣势.
高纯氨生产工艺技术探讨
【摘 要】
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随着绿色能源和半导体的崛起,LED和半导体的使用越来越广泛,导致市场对半导体和LED生产所需的高纯氨气需求增大.通过目前不同的高纯氨生产的工艺进行比较来探讨其优劣势.
【机 构】
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联氨精密气体(厦门)有限公司,福建 厦门 361101
【出 处】
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新型工业化
【发表日期】
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2020年10期
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