高纯氨生产工艺技术探讨

来源 :新型工业化 | 被引量 : 0次 | 上传用户：wulizhu11

【摘要】

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随着绿色能源和半导体的崛起,LED和半导体的使用越来越广泛,导致市场对半导体和LED生产所需的高纯氨气需求增大.通过目前不同的高纯氨生产的工艺进行比较来探讨其优劣势.

【作者】

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【机构】

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联氨精密气体(厦门)有限公司,福建厦门 361101

【出处】

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新型工业化

【发表日期】

：

2020年10期

【关键词】

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