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针对LIGA制作微细群电极工艺复杂、价格昂贵的缺点，提出微细群电极的电火花超声复合反拷加工技术．根据微细电火花放电的机理，利用微细群孔放电反拷来制作微细群电极．基于微细群电极反拷电加工时圆柱电极不能旋转的特点，在加工中复合了超声振动，并在理论分析的基础上，系统地研究超声振动对微细群电极反拷电加工的影响．得到一系列3×3的微细群电极和由这些群电极制作的微细群孔，单电极直径小于30μm，长径比大于10，表面光洁，有很好的同轴度．