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简要讨论了计算机控制应力盘抛光大口径高陡度非球面的基本原理，用Ｚｅｒｎｉｋｅ多项式拟合的数学方法研究应力盘工作过程中的面形动态变化，对这一方法所能达到的精度进行了分析，给出了计算结果。
计算机数控应力盘面形研究
【摘 要】
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简要讨论了计算机控制应力盘抛光大口径高陡度非球面的基本原理，用Ｚｅｒｎｉｋｅ多项式拟合的数学方法研究应力盘工作过程中的面形动态变化，对这一方法所能达到的精度进行了分析，给出了计算结
【机 构】
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中国科学院光电技术研究所
【出 处】
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光电工程
【发表日期】
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2000年3期
【基金项目】
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中国科学院重点课题
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