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采用胶体晶体模板技术,配合溶胶-凝胶和磁控溅射工艺,制备了高比表面积环状阵列结构锐钛矿TiO2薄膜。通过扫描电子显微镜(SEM),X射线衍射(XRD),紫外-可见分光光度计(UV-Vis)等分析测试手段对样品的结构和光催化性能进行了表征。实验结果表明:TiO2环状阵列薄膜1h催化降解亚甲基蓝的降解率为80.2%,明显优于TiO2薄膜。环状阵列结构具有大比表面积特征,可显著提高反应物与活性位点的接触几率,因此使光催化活性显著提高。