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本文建立了PVD淀积速率与光源功率以及淀积时间关系的理论,发现理论与薄膜厚度关于淀积时间关系的实验结果相符合。
PVD淀积速率理论
【摘 要】
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本文建立了PVD淀积速率与光源功率以及淀积时间关系的理论,发现理论与薄膜厚度关于淀积时间关系的实验结果相符合。
【机 构】
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西安电子科技大学物理系,西安电子科技大学物理系
【出 处】
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微电子学
【发表日期】
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1991年01期
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