【摘 要】
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欧洲国际微电子学中心(IMEC)安装了一台型号为SUSS PAV150的测试设备,用以在高真空环境中测试微机电系统(MEMS)器件(特别是RFMEMS)。MEMS在使用情况下,该设备可测试它的可靠
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欧洲国际微电子学中心(IMEC)安装了一台型号为SUSS PAV150的测试设备,用以在高真空环境中测试微机电系统(MEMS)器件(特别是RFMEMS)。MEMS在使用情况下,该设备可测试它的可靠性。 RF MEMS器件小,它们靠机械运动来控制RF信号的通、断传输。目前,RF MEMS
The European Center for International Microelectronics (IMEC) installed a test device, model SUSS PAV150, to test microelectromechanical systems (MEMS) devices, especially RFMEMS, in high vacuum environments. The device tests its reliability under the conditions of use. RF MEMS devices small, they rely on mechanical motion to control the RF signal on and off transmission. Currently, RF MEMS
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