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提出了采用调制热源，热沉边界条件下的超低频薄膜纵向热导率测试方法，结构金属薄膜的弱温度探测，使薄膜厚度方向的热导率测试进入到了亚微米量级。室温下热导率采用了线性拟合外推法求得。实测的多孔ＳｉＯ２薄膜热导率比致密的块休材料低了３个量级，为０．００１Ｗ／ｍ．Ｋ。
亚微米级多孔绝热膜的纵向热导率的测试
【摘 要】
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提出了采用调制热源，热沉边界条件下的超低频薄膜纵向热导率测试方法，结构金属薄膜的弱温度探测，使薄膜厚度方向的热导率测试进入到了亚微米量级。室温下热导率采用了线性拟合外
【机 构】
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电子与信息工程学院
【出 处】
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西安交通大学学报
【发表日期】
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1995年9期
【基金项目】
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国家“863”高技术新材料研究计划资助项目．
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