【摘 要】
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休斯丹伯里光学系统(HDOS,Danbury,CT)的工程技术人员,将一种新的方法运用于旧的技术,独创出一种对硅晶片生产厂商来说是非常有用的薄膜计量器件。它能在不到两分钟的时间内
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休斯丹伯里光学系统(HDOS,Danbury,CT)的工程技术人员,将一种新的方法运用于旧的技术,独创出一种对硅晶片生产厂商来说是非常有用的薄膜计量器件。它能在不到两分钟的时间内提供整个晶片的数据。AcuThin薄膜绘图仪的传感器元件是由HDOS所研制并获得了专利,成套系统现在由ADE公司销售。 通常,硅绝缘子晶片的制作
Engineers at Hughes, CT, Danbury, CT, have introduced a new approach to older technologies and created a thin-film metering device that is very useful for silicon wafer manufacturers. It can provide the entire wafer data in less than two minutes. The sensor elements of the AcuThin film plotter were developed and patented by HDOS and are now marketed by ADE. Commonly, silicon insulator wafer fabrication
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