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利用固相烧结法制备了多铁性材料CaMn7O（12）多晶块材,断面扫描电子显微镜（SEM）形貌图显示样品的结构致密.以CaMn7O（12）多晶块材为靶材,利用磁控溅射方法在Sr Ti O3（STO）基片上制备CaMn7O（12）薄膜,XRD的θ-2θ扫描说明在STO（001）和STO（111）基片分别得到了CaMn7O（12）（003）薄膜和CaMn7O（12）（600）薄膜.原子力显微镜（AFM）扫描的薄膜表面形貌清晰,结合薄膜生长的晶格匹配度,分析CaMn7O（12）（003）薄膜和CaMn7O（12）