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用特殊工艺制作了一个平面型玻璃微小孔（孔径10～20μm）,配合抽速为450l/s的涡轮分子泵,实现高达7个数量级的差分效果。对300mm波导型CO2气体激光管及800mm普通CO2气体激光管,进行早期过程的直接质谱诊断,得到了一系列结果。
CO2激光器早期过程的直接质谱诊断
【摘 要】
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用特殊工艺制作了一个平面型玻璃微小孔（孔径10～20μm）,配合抽速为450l/s的涡轮分子泵,实现高达7个数量级的差分效果。对300mm波导型CO2气体激光管及800mm普通CO2气体激光管,进行早期过程的直接质谱诊断,得到了一系列结果。
【机 构】
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成都电讯工程学院
【出 处】
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中国激光
【发表日期】
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1986年13期
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