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基于质量刚度解耦的三波腹嵌套环MEMS陀螺结构优化设计

来源 :传感技术学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：weyyiverson

【作 者】

：

高凯  李青松  张勇猛  路阔  王鹏  许一  李斌  肖定 

【出 处】

：

传感技术学报

【发表日期】

：

2019年11期

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