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力敏器件中间测试装置与其它中测装置的区别在工作台上。本文介绍了用于传感器力敏器件中间测试的加载工作台的特点，介绍了工作台负压加载的原理与方法，进行了加载真空系统的设计计算，９０℃分度转角精度的设计计算，用于θ向对准的蜗轮蜗杆的设计计算以及工作台Ｚ向移动的设计计算等。
力敏器件中间测试装置加载工作台的设计
【摘 要】
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力敏器件中间测试装置与其它中测装置的区别在工作台上。本文介绍了用于传感器力敏器件中间测试的加载工作台的特点，介绍了工作台负压加载的原理与方法，进行了加载真空系统的设
【机 构】
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沈阳仪器仪表工艺研究所沈阳市110043
【出 处】
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仪表技术与传感器
【发表日期】
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1996年4期
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