【摘 要】
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本文合成了N-（p-羧基苯基）甲基丙烯酰胺单体，并将其与N-苯基马来酰亚胺共聚得到共聚物聚N-（p-羧基苯基）甲基丙烯酰胺共N-苯基马来酰亚胺（poly（NCMA-（20-NPMI））．将此共聚物作为成膜树脂，与
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本文合成了N-（p-羧基苯基）甲基丙烯酰胺单体，并将其与N-苯基马来酰亚胺共聚得到共聚物聚N-（p-羧基苯基）甲基丙烯酰胺共N-苯基马来酰亚胺（poly（NCMA-（20-NPMI））．将此共聚物作为成膜树脂，与感光剂、溶剂等复配得到一种新型耐高温紫外正型光刻胶．本文探讨了该光刻胶的最佳配方组成和最佳光刻工艺．最佳配方组成为：15％-20％成膜树脂，4．5％-6％感光剂和70％-80％溶剂；最佳光刻工艺为：匀胶30s（4000rpm），前烘4min（90℃），感度为30—35mJ／cm^2，在0．2％TM
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