【摘 要】
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基于硅-玻璃结构,设计并制造了一种MEMS电容式差压压力传感器,利用由硅MEMS微纳米加工技术制作的硅可动薄膜作为压力的感测电极,利用在Pyrex玻璃上淀积Au薄膜作为固定电极,通
【机 构】
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沈阳航空航天大学电子信息工程学院,中国电子科技集团公司第四十七研究所
【基金项目】
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辽宁省自然科学基金指导计划“面向通用航空应用的MEMS电容式大气压力传感器研究”(201602555)
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基于硅-玻璃结构,设计并制造了一种MEMS电容式差压压力传感器,利用由硅MEMS微纳米加工技术制作的硅可动薄膜作为压力的感测电极,利用在Pyrex玻璃上淀积Au薄膜作为固定电极,通过硅-玻璃阳极键合工艺实现硅结构与玻璃的键合。在键合过程中实现Pryex玻璃上的pad与硅可动电极的互联,实现MEMS电容式差压压力传感器功能。所设计的MEMS差压压力传感器的量程范围为0~40kPa,其电容变化范围为5.4~7.3pF,电容变化量率达到了35%。利用二次曲线拟合,满量程误差小于0.4%FS,可满足大部分应用场合
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