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分子束—表面散射技术是研究气体—表面相互作用动力学的有力工具.它的主要突破在于从分子(原子)量度来揭示诸如催化、腐蚀、吸附,脱附和能量适应等宏观的气体—表面作用过程.它同时也是一种表面分析的工具. 本文概述了本实验室研制的一台分子束—表面散射装置的总体设计(包括分子束源、调制室、分析室、真空系统及测试系统等的设计),接着评述已建成的该装置的性能及实验技术(包括束强度、束速度及束截面的测量,分子束张弛谱、束平动能的改变、沾着几率的测量及表面吸附物的化学态分析等),最后举例说明本装置的应用.