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利用溶胶-凝胶工艺在Y切铌酸锂晶基片衬底上制备氧化镁薄膜,经镁离子内扩散后,进行了其表面改性研究,由X射线衍射和电子探针显微分析表明,扩散层具有一种新的化合物结构特性,镁离子浓度随扩散深度的变化具有近似半抛物线形状的分布,本实验结果可用于铌酸锂单晶光纤芯-包层波导结构,经选择适当的参数和膜厚、扩散温度、扩散时间等,可望得到晶纤的单模传输。