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众所周知，基于成本，性能，耐用性和优秀的机械性能及电特性，硅成为高性能微结构的基本材料，无数的市场调查和计划证实在过去２０年间硅有许多应用机遇。然而真正成功的商业机遇还有待于进一步探索。
寻找微结构的市场
【摘 要】
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众所周知，基于成本，性能，耐用性和优秀的机械性能及电特性，硅成为高性能微结构的基本材料，无数的市场调查和计划证实在过去２０年间硅有许多应用机遇。然而真正成功的商业机遇还有待于
【出 处】
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光机电信息
【发表日期】
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1999年11期
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