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介绍了扫描探针显微镜的起源及其发展过程,同时对扫描探针显微镜中最常用的两种:STM、AFM作了原理和结构介绍,最后介绍了SPM探针的形状及其性能数据。
扫描探针显微镜的研究
【摘 要】
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介绍了扫描探针显微镜的起源及其发展过程,同时对扫描探针显微镜中最常用的两种:STM、AFM作了原理和结构介绍,最后介绍了SPM探针的形状及其性能数据。
【机 构】
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江苏大学微纳米中心
【出 处】
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机械制造
【发表日期】
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2005年02期
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