采用多维气相色谱,通过不同色谱柱的组合变换、配合反吹、中心切割等操作技术,分别对六氟化硫、四氟化碳、氢气3种电子气中的6～7种杂质检测进行了方法开发.使用气体稀释法作出了5个浓度下氢气中各组分的响应校准曲线,线性良好,最低浓度点0.05×10-6mol/mol时的RSD均小于10％.系统地描述了3种电子气检测方法的开发过程和经验技巧,计算了检出限,均远好于市场检测需求,其中六氟化硫各组分检出限在20.3×10-9～ 30.3×10-9 mol/mol,四氟化碳各组分检出限在16.2×10-9～25.5×10-9 mol/mol,氢气各组分检出限在8.1× 10-9 ～ 15.6× 10-9 mol/mol,方法重复性好、检测效率高,可作为标准操作规范向社会开放共享.