【摘 要】
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一引言离子注入工艺具有成本低,制作的器件参数重复性好,均匀性好等优点,已被应用于器件制作工艺中,并成为制备高频高速集成电路的基础。国外,GaAs FET生产中
I. INTRODUCT
【机 构】
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冶金部有色金属研究总院,冶金部有色金属研究总院,冶金部有色金属研究总院,
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一引言离子注入工艺具有成本低,制作的器件参数重复性好,均匀性好等优点,已被应用于器件制作工艺中,并成为制备高频高速集成电路的基础。国外,GaAs FET生产中
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