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面向MEMS、纳米技术和半导体市场的晶圆键合与光刻设备的领先供应商EV集团（EVG）于日前推出全新的Smart View~？ NT3对准系统。该对准系统适用于本公司专为大批量制造（HVM）应用打造的行业基准GEMINI~？ FB XT集成式熔融键合系统。
EV集团凭借突破性的晶圆键合技术加速3D-IC封装路线图
【摘 要】
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面向MEMS、纳米技术和半导体市场的晶圆键合与光刻设备的领先供应商EV集团（EVG）于日前推出全新的Smart View~？ NT3对准系统。该对准系统适用于本公司专为大批量制造（HVM）应用打造
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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2018年4期
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