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综述了TiAlN薄膜、TiAlN纳米多层膜、TiAlN纳米复合薄膜的研究进展，主要介绍了3种薄膜的硬度、摩擦磨损等性能，并对影响其性能的因素进行了分析，提出了薄膜制备所存在的问题，最后对其今后的发展做了展望。
TiAlN基薄膜的研究进展
【摘 要】
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综述了TiAlN薄膜、TiAlN纳米多层膜、TiAlN纳米复合薄膜的研究进展，主要介绍了3种薄膜的硬度、摩擦磨损等性能，并对影响其性能的因素进行了分析，提出了薄膜制备所存在的问题，最后
【机 构】
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济南大学机械工程学院
【出 处】
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机械工程材料
【发表日期】
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2013年4期
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