【摘 要】
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用X射线双晶衍射法测定了MBE GaAs/AlAs一维超晶格的衍射迥摆曲线.除超晶格的主衍射峰外,还观察到一级和二级卫星峰.由这些衍射峰之间的角距离△θ,计算出超晶格的周期宽度D,
【机 构】
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中国科学院半导体研究所,中国科学院半导体研究所
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用X射线双晶衍射法测定了MBE GaAs/AlAs一维超晶格的衍射迥摆曲线.除超晶格的主衍射峰外,还观察到一级和二级卫星峰.由这些衍射峰之间的角距离△θ,计算出超晶格的周期宽度D,进而确定AlAs层厚L_B和GaAs层厚L2.
The diffraction bifurcation curves of one-dimensional MBE GaAs / AlAs superlattices were determined by X-ray double crystal diffraction method. In addition to the main diffraction peaks of the superlattice, first- and second-order satellite peaks were observed. Between these diffraction peaks Of the angular distance Δθ, calculate the period width D of the superlattice, and then determine the AlAs layer thickness L_B and the GaAs layer thickness L2.
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