【摘 要】
：
对TFT制作工艺中,TFT有源层刻蚀均一性与电学性质进行分析研究。通过扫描电子显微镜,电学测试设备对样品进行分析。结果显示沟道有源层的刻蚀功率,气体比例及刻蚀压强对有源
论文部分内容阅读
对TFT制作工艺中,TFT有源层刻蚀均一性与电学性质进行分析研究。通过扫描电子显微镜,电学测试设备对样品进行分析。结果显示沟道有源层的刻蚀功率,气体比例及刻蚀压强对有源层的刻蚀均一性都有较大影响,并会影响TFT电学特性的均一性。通过适当降低刻蚀功率及反应气体SF6/Cl2的比例,同时,降低反应压强,可以改善有源层刻蚀的均一性。从而,TFT电学特性的均匀性得到优化。
其他文献
丁烯类液晶具有黏度小、熔点低、清亮点高、低温稳定性良好的优点,对改进混晶的性能有着显著作用,是一类具有广阔前景的液晶单体.本文经过对接、酰化、酯化反应得到2氟4溴1乙
最终关键尺寸是评价薄膜晶体管液晶显示器产品性能的一项重要参数。本文研究了在光源照度变化的条件下得到准确的最终关键尺寸的方法。通过大量的实验测试、数据分析,并配合
针对等离子体显示器维持期气体放电过程引起的PDP残像,研究了持续气体放电过程对残像可恢复性的影响以及相同放电条件下显示单元三基色亮度变化情况,分析了气体放电过程与PDP
液晶显示需要低功耗、均匀度好的光源作为背光源。为了降低功耗,提高显示图像质量,未来的液晶显示需要实现对背光源进行时间与阵列调制。对比现有的液晶显示用背光源,研究制
以比铝、银等金属材料透光性更好的铜作为白光有机顶发射器件的顶电极,将其应用到基于Al底电极的蓝、黄互补色顶发射白光有机电致发光器件（TEWOLED）,通过合理设计器件结构,制备
Oncell触摸技术将触摸感应膜层集合于液晶显示面板上,相较于常规的双层技术方案,具有更轻薄化,透过率更高,制程更优的特点.本文将单层多点电容方案、复合盖板、防反射、防指
提出了一种基于结构标签学习的显著性目标检测算法,将结构化学习方法应用到显著性目标检测中.首先从含有标记的图像中随机采集固定大小的矩形区域,并记录其结构标签；然后使用
提出了一种在复杂环境中车辆检测与跟踪方法。该方法首先分析车辆的外形特点,确定采用从Blob块提取的几何形状参数作为车辆的特征并用于运动车辆的检测;然后结合Blob分析和Ca
文章以小分子材料SimCP作为发光主体,通过溶液法制备了掺杂铱配合物FIrpic的蓝色磷光有机发光二极管,并分别从发光层的溶剂和FIrpic掺杂浓度两方面研究了其对器件发光效率和
为了研究碘代物杂质对TFT液晶性能的影响,设计了不同劣化条件下TFT液晶的保存实验,进行了碘代物掺杂的浓度梯度实验,测试了混晶VHR随碘代物浓度变化的趋势.实验结果表明：在UV