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根据非平衡热力学耦合模型理论首次计算得到了碳氢氮体系的金刚石生长的非平衡定态相图与近几年在国际上发表的该体系实验结果符合，可以为今后的实验研究提供定量化的理论依据。
含氮体系CVD低压金刚石薄膜淀积条件
【摘 要】
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根据非平衡热力学耦合模型理论首次计算得到了碳氢氮体系的金刚石生长的非平衡定态相图与近几年在国际上发表的该体系实验结果符合，可以为今后的实验研究提供定量化的理论依据
【机 构】
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复旦大学电子工程系CVD研究室,200433
【出 处】
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无机材料学报
【发表日期】
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1999年1期
【基金项目】
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国家自然科学基金!59772029,,863高科技基金!!863－715－010－0050
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