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为改善CeO2粉体的化学机械抛光（CMP）性能,采用聚乙烯亚胺（PEI）作为分散剂,对CeO2粉体表面进行改性,通过傅立叶红外光谱（FTIR）、透射电镜显微镜（TEM）、Zeta电位仪、激光粒度仪及稳定性测试等方法分析了表面改性对CeO2颗粒表面性质及其抛光液分散稳定性的影响。结果表明：纳米CeO2粉末经PEI改性后改变了其在水中的胶体性质,Zeta电位绝对值提高,CeO2颗粒间的空间位阻增加,抛光液的分散稳定性得到了明显改善。改性后纳米CeO2抛光液对手机面板玻璃的化学机械抛光（CMP）的抛光效率（MR