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本文叙述了激光外差干涉测量技术的发展和应用，介绍了实现激光外差的三种方法，双频激光法，频移器件法和半导体激光线性调频法，文中分析了其特点及发展趋势。
外差激光干涉仪的实现方法及其特点
【摘 要】
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本文叙述了激光外差干涉测量技术的发展和应用，介绍了实现激光外差的三种方法，双频激光法，频移器件法和半导体激光线性调频法，文中分析了其特点及发展趋势。
【机 构】
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清华大学
【出 处】
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计量技术
【发表日期】
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1996年7期
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