【摘 要】
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基于分子动力学方法,对石英玻璃进行了三维的纳米划痕仿真,用来研究其纳米加工性能.采用熔融-淬火的办法建立了石英玻璃的模型,并通过观察模型的截面图,分析了在制备过程中内
【机 构】
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大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室
【基金项目】
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Science Fund for Creative Research Groups;National Basic Research Program of China;Higher Specialized Research Fund for the Doctoral Program;Fundamental Research Funds for the Central Universities;Maj
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基于分子动力学方法,对石英玻璃进行了三维的纳米划痕仿真,用来研究其纳米加工性能.采用熔融-淬火的办法建立了石英玻璃的模型,并通过观察模型的截面图,分析了在制备过程中内部微观孔隙的形成过程和原因.在仿真过程中,观察了石英玻璃的变化和孔隙周围原子的运动,得到了切削力的曲线,重点研究了内部的微观空隙对划痕过程的影响.仿真结果表明:当石英玻璃冷却时,由于内部共价键的重组,会形成平均半径为0.25 nm的微观的孔隙,而且其降低了石英玻璃的纳米加工性能,使得切削力的曲线发生一定程度的波动.当磨粒划过表面后,会在表面以下形成厚度为2 nm的原子密集堆积区.由于稠密区的原子共价键键长的变化,失去了原有共价键的强度,所以会形成加工的损伤层.因此在对石英玻璃超精密加工时,应采用少量多次的加工方法来提高材料的加工性能.
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