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综述流化床法制备粒状多晶硅的技术概况及生产技术问题的研究情况。
流化床法制备粒状多晶硅研究进展
【摘 要】
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综述流化床法制备粒状多晶硅的技术概况及生产技术问题的研究情况。
【机 构】
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江苏中能硅业科技发展有限公司,天津工业大学
【出 处】
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氯碱工业
【发表日期】
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2014年01期
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