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提出了模拟磁过滤阴极真空弧放电等离子体沉积装置阴极弧放电过程的等效电路,并用此电路定性研究了各参数对弧放电的影响,结果同实验符合的很好.
磁过滤阴极真空弧沉积装置研究中的等效电路方法
【摘 要】
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提出了模拟磁过滤阴极真空弧放电等离子体沉积装置阴极弧放电过程的等效电路,并用此电路定性研究了各参数对弧放电的影响,结果同实验符合的很好.
【机 构】
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北京师范大学分析测试中心,北京师范大学低能核物理研究所射线束技术与材料改性教育部重点实验室北京100875
【出 处】
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真空科学与技术
【发表日期】
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2003年1期
【基金项目】
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国家高技术研究发展计划(863计划)
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