论文部分内容阅读
针对微透镜制作采用的球透镜研磨，多组分玻璃基板离子交换，结晶化玻璃基板光热法，本文提出非球面消球差双凸波导透镜设计、制备及参数测试方法。该方法根据集成光学原理，研制了一种非球面消球差双凸波导透镜。该透镜数值孔径大，放大倍数高，接近衍射极限，采用光刻、复制工艺，结构简单，一致性好。实验结果表明，NA=0．35，β=6．932，光强分布与理论值一致，达到设计要求。