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本文采用脉冲激光沉积和真空退火的方法在铝箔上制备氧化铟锡（indium tin oxide， ITO）表面增强拉曼散射（surface-enhanced Raman scattering， SERS）活性基底，并研究了ITO基底的SERS特性。沉积了700、1000、1300、1600、2000五组脉冲数的基底，测量结果显示薄膜厚度与脉冲数接近线性关系，当ITO薄膜厚度为60.80 nm（脉冲数为1300）时，拉曼信号的增强程度达到最大值，其拉曼强度是Au基底的2～3倍。研究表明，真空退火能够显著提升ITO基底的拉曼增强效果，不同厚度的ITO薄膜基底均具有明显的SERS增强效果，可以通过控制薄膜厚度对ITO基底进行SERS调控。这些研究结果可为后续氧化铟锡材料SERS研究及应用提供参考依据。