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扫描探针显微镜（SPM）具有高精度成像、纳米操纵等功能，是纳米科技、生命科学、材料科学和微电子等科学研究的重要工具．随着科学技术的发展，科学家和工程师们对科研工具SPM的性能也提出越来越高的要求．SPM控制技术作为提高SPM性能的关键技术之一，已经得到广泛的关注和研究．本文首先介绍SPM系统以及两种常用的SPM，讨论SPM扫描器（即压电驱动器）的特性及其数学模型；然后详细总结了SPM水平方向和竖直方向的控制技术，并且对扫描探针显微镜多输入多输出（SPM MIMO）控制技术进行了探讨；最后总结了SPM控制技