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提出一种测定氧扩散系数新方法。用Sol-gel法制备了Y2O3/SiO2均匀致密的薄膜，能成功解决其它方法无法得到的冶炼所得到的熔体，光学椭偏测定氧化层的膜厚。探讨了氧在薄膜中的扩散，在Wagner理论基础上，用数学方法表达在掺杂SiO2薄膜氧扩散系数与氧化层膜厚的关系。
在硅基材料上用Sol-gel法制备涂层测定氧扩散系数研究
【摘 要】
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提出一种测定氧扩散系数新方法。用Sol-gel法制备了Y2O3/SiO2均匀致密的薄膜，能成功解决其它方法无法得到的冶炼所得到的熔体，光学椭偏测定氧化层的膜厚。探讨了氧在薄膜中的扩
【机 构】
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贵州省理化测试中心,贵州省冶金科学研究室,DepartmentofInorganicChemistry
【出 处】
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贵州科学
【发表日期】
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2003年1期
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