对准误差对菲涅耳透镜衍射效率的影响

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基于标量衍射理论 ,在傅立叶光学的基础上 ,首先得出存在对准误差情况下 4台阶菲涅耳透镜衍射效率的解析式 ;并以 4台阶、8台阶、16台阶菲涅耳透镜为例 ,系统分析对准误差对衍射效率的影响并进行计算机模拟研究。模拟计算结果对正在进行的 16台阶菲涅耳透镜制作工作提供了理论指导
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