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籽晶偏向对高纯半绝缘4H-SiC晶体影响的研究

来源 :电子工业专用设备 | 被引量 : 0次 | 上传用户：jamesshen

【作 者】

：

侯晓蕊 王英民 魏汝省 李斌 王利忠 田牧 刘燕燕 淮珍 王程 

【出 处】

：

电子工业专用设备

【发表日期】

：

2019年06期

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