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用真空热蒸镀的方法制备了绿光有机电致发光器件，并对其工艺流程进行了详细的描述。器件结构为ITO/MoO3(x nm)/N,N′-diphenyl-N,N′-bis(1-naphthyl)-(1,18-biphenyl)-4,4-diamine(NPB)(40 nm)/tris(8-hydroxyquinoline)aluminum(Alq3)(60 nm)/LiF(1 nm)/Al(150 nm)，其中x=0，5 nm。实验中，对ITO基片进行氧等离子体表面处理，能够有效减小ITO表面的接触角。通过对器件的光电性能测试，研究了MoO3作空穴注入层对有机电致发光器件性能的影响。实验结果表明，空穴注入层MoO3的最高占据分子轨道(HOMO)能级较好的与ITO功函数匹配，降低了空穴注入势垒，提高了器件的发光亮度和效率。当外加电压小于10 V时，器件的电流密度随外加电压的增加而增加，但变化不明显；当外加电压大于10 V时，器件的电流密度明显增强，发光色度几乎不随驱动电压的改变而改变，色坐标稳定在(0.36, 0.55)附近。