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使用193 nm脉冲激光在高真空条件下沉积Ba0.5Sr0.5TiO3(BST)薄膜,通过观测薄膜形成的等厚干涉条纹,发现溅射光斑形状对膜层厚度分布有显著影响.通过精确测量干涉条纹的分布,推出了溅射产物的角分布函数.
脉冲激光沉积BST铁电薄膜的厚度分布
【摘 要】
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使用193 nm脉冲激光在高真空条件下沉积Ba0.5Sr0.5TiO3(BST)薄膜,通过观测薄膜形成的等厚干涉条纹,发现溅射光斑形状对膜层厚度分布有显著影响.通过精确测量干涉条纹的分布,
【机 构】
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渭南师范学院物理学系
【出 处】
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陕西师范大学学报(自然科学版)
【发表日期】
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2003年3期
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