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本文通过改变QMS422型四极质谱计离子源的发射电流、阴极电压和聚焦电压等参数值,测量了质谱计灵敏度的相应变化,给出并分析了实验结果.实验结果表明,对质谱计离子源参数进行调节,可以优化质谱计的灵敏度并使之达到最大值.
四极质谱计灵敏度与离子源参数关系的实验研究
【摘 要】
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本文通过改变QMS422型四极质谱计离子源的发射电流、阴极电压和聚焦电压等参数值,测量了质谱计灵敏度的相应变化,给出并分析了实验结果.实验结果表明,对质谱计离子源参数进行
【机 构】
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兰州物理研究所
【出 处】
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真空科学与技术
【发表日期】
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2003年3期
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