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薄膜卡盘的设计研究
薄膜卡盘的设计研究
来源 :装备机械 | 被引量 : 0次 | 上传用户:iamphfeng
【摘 要】
:
为了提高薄膜卡盘的设计水平,本文阐述了薄膜卡盘剪力和薄膜厚度的线性变化对卡紧力的影响,推荐了薄膜盘厚度变化角β的最佳值以及薄膜盘内外半径的比值范围.
【作 者】
:
沈学忠
翁世修
【机 构】
:
上海交通大学机械与动力工程学院200030
【出 处】
:
装备机械
【发表日期】
:
2004年4期
【关键词】
:
卡盘
设计研究
薄膜厚度
推荐
半径
厚度变化
设计水平
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为了提高薄膜卡盘的设计水平,本文阐述了薄膜卡盘剪力和薄膜厚度的线性变化对卡紧力的影响,推荐了薄膜盘厚度变化角β的最佳值以及薄膜盘内外半径的比值范围.
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