薄膜卡盘的设计研究

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为了提高薄膜卡盘的设计水平,本文阐述了薄膜卡盘剪力和薄膜厚度的线性变化对卡紧力的影响,推荐了薄膜盘厚度变化角β的最佳值以及薄膜盘内外半径的比值范围.
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