脉冲激光沉积ZrW2O8/ZrO2复合薄膜及其靶材制备

来源 :真空科学与技术学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：qqgames

【摘要】

：

采用化学共沉淀法合成26wt%ZrW2O8/ZrO2近零膨胀复合陶瓷靶材,并以脉冲激光法在石英基片上沉积制备了ZrW2O8/ZrO2复合薄膜。利用X射线衍射仪（XRD）、热膨胀仪、扫描电子显微镜（SE

【作者】

：

刘红飞张志萍程晓农

【机构】

：

江苏大学材料科学与工程学院

【出处】

：

真空科学与技术学报

【发表日期】

：

2009年6期

【关键词】

：

ZRW2O8 ZRO2 脉冲激光法低热膨胀复合靶 ZrW2O8 ZrO2 Pulsed laser deposition low thermal expan

【基金项目】

：

国家自然科学基金项目（No.50372027）,江苏省高校自然科学重大基础研究项目（No.06KJA43010）,江苏大学博士创新基金（CX07B-15x）

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采用化学共沉淀法合成26wt%ZrW2O8/ZrO2近零膨胀复合陶瓷靶材,并以脉冲激光法在石英基片上沉积制备了ZrW2O8/ZrO2复合薄膜。利用X射线衍射仪（XRD）、热膨胀仪、扫描电子显微镜（SEM）研究了复合靶材的晶体结构、热膨胀性能和致密度,同时也探索了热处理温度对复合薄膜的相组成和表面形貌的影响。结果表明：合成的靶材由-αZrW2O8和m-ZrO2组成,26wt%ZrW2O8/ZrO2复合靶材在30℃-600℃的热膨胀系数为-0.5649×10^-6K^-1,近似为零,且靶材致密、均匀

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