化学溶液沉积法制备 BiFeO3薄膜的结构及性能研究

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采用化学溶液沉积法在 ITO 玻璃基片上制备铁酸铋 BiFeO3薄膜。薄膜呈纯钙钛矿结构,无杂相生成。此外,薄膜表面光滑致密、没有微裂痕。薄膜得到的晶粒尺寸较小,约为45 nm。在550℃1 h 退火的薄膜有良好的电学特性,在1 kHz 频率下测得的相对介电常数、损耗因子分别约为198、3%;此外,在760 kV /cm 电场驱动下,薄膜得到的剩余极化(2Pr )约为25μC /cm2,矫顽电场(2Ec )约为650 kV /cm。BFO 薄膜在550℃退后,通过吸收光谱分析得到 BFO 薄膜的光学带隙为
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