【摘 要】
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为了提高电容式MEMS加速度计测量精度,设计了一种应用于MEMS加速度计微弱信号读出电路;读出电路由T型阻容网络放大电路、模拟开关解调电路和四阶带通滤波电路组成,通过Multis
【机 构】
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西安建筑科技大学信息与控制工程学院,中国科学院微电子研究所
【基金项目】
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国家自然科学基金资助项目(61701388),住房和城乡建设部研究开发项目(K32016014),陕西省教育厅产业化项目(18JC017),西安建筑科技大学青年科技基金(QN1529,QN1630)
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为了提高电容式MEMS加速度计测量精度,设计了一种应用于MEMS加速度计微弱信号读出电路;读出电路由T型阻容网络放大电路、模拟开关解调电路和四阶带通滤波电路组成,通过Multisim软件仿真分析各模块电路原理并确定影响读出电路的主要因素,进一步优化确定元器件最佳参数,最后制作出PCB电路板并开展实验测试,实验结果表明微弱信号检测准确率达90%以上,能很好地满足电容式MEMS加速度计微弱信号检测要求,同时该读出电路具有尺寸小、易调节、易于ASIC集成等特点,在微机械仪表的微小电容检测中有较高的实用价值。
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