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日立S4800场发射扫描电子显微镜故障一例，故障现象是图像抖动，有明显噪声，故障出现的时间没有规律性，但图像抖动的方向有规律性。本文介绍了故障检查和处理方法，以供参考。
日立电镜S4800故障维修案例
【摘 要】
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日立S4800场发射扫描电子显微镜故障一例，故障现象是图像抖动，有明显噪声，故障出现的时间没有规律性，但图像抖动的方向有规律性。本文介绍了故障检查和处理方法，以供参考。
【机 构】
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娄底市环境监测站,华南理工大学
【出 处】
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电子显微学报
【发表日期】
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2015年2期
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