论文部分内容阅读
对两种横向变形的终止位置定位机构进行了力学分析，选择对被定位件滑块卡入阻力小的终止位置定位机构结构形式．根据少装配原则与满足MEMS整体系统性能要求相平衡的设计思想，将MEMS定位机构和基座分开设计．选择金属镍作为定位机构材料，用LIGA工艺成功制备出定位机构的原理样机和镍标准样条．在24℃和25％相对湿度的条件下，利用微型硬度测试仪对标准样条5个不同部位的点进行测量，测得材料镍的弹性模量为219GPa．列出了滑块运动的微分方程并进行求解，求解结果表明，滑块能够可靠运动到位并被定位机构可靠卡住．离心实验表