用离子镀法镀超硬质膜的提示

来源 :国外金属热处理 | 被引量 : 0次 | 上传用户：lansu_0754

【摘要】

：

在模具和刀具的表面镀上超硬质膜,以提高其硬度、耐蚀性和耐磨损性。目前已有多种镀膜方式,如PVD法(真空蒸发法、溅射法、离子镀法)、CVD法,湿式镀法等,其中用离子镀法镀超硬

【作者】

：

砂贺芳雄许宝兴

【机构】

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日本真空技术株式会社,电子工业部工艺研究所

【出处】

：

国外金属热处理

【发表日期】

：

1987年1期

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在模具和刀具的表面镀上超硬质膜,以提高其硬度、耐蚀性和耐磨损性。目前已有多种镀膜方式,如PVD法(真空蒸发法、溅射法、离子镀法)、CVD法,湿式镀法等,其中用离子镀法镀超硬质膜最引人注目(参见图1)。 1964年由美国的MATTOX开发的这项技术,在70年代又作了各种改进,进入80年代后才逐渐确立为生产技术,应用范围也

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