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用离子注入法制备了Mn掺杂的CdTe,Mn离子能量为200keV,X射线衍射测得注入样品的衍射半高宽为由48arcsec变为146 arcaec,X射线光电子能谱分析样品表明,由于注入Mn离子置换了Cd离子,形成了Mn-Te键,阴极荧光谱显示注入后样品的禁带宽度由原来的1.49eV变为1.50eV,表明注入样品的CdTe:Mn层出现合金化,形成了三元化合物CdMnTe。