【摘 要】
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分析了矢量网络分析仪测试系统的误差来源,给出二端口SOLT校准的12项误差模型,由此推导了待测元件的真实S参数,并且详细讲述了SOLT校准件的制作方法,确定出开路件的边缘电容
【机 构】
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东南大学国家专用集成电路系统工程技术研究中心
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分析了矢量网络分析仪测试系统的误差来源,给出二端口SOLT校准的12项误差模型,由此推导了待测元件的真实S参数,并且详细讲述了SOLT校准件的制作方法,确定出开路件的边缘电容。最后,使用自制的PCB夹具测量了0603封装的电感和电容,对校准前后的测量数据进行了对比、分析,并成功地提取了封装后的模型参数,结果证明该方法可以用于射频夹具测量的校准。
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